荷兰工程师发声,事关国产EUV光刻机

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ASML是全世界独一能出产EUV光刻机的厂商，不外ASML并不是自力制造，而是依靠于全世界化供给链，整合了列国的顶尖科技资本才乐成造出EUV光刻机。

因为美国的阻碍，ASML不克不及将EUV光刻机发往中国大陆，象征着只能走自研线路。问题是打造一台EUV光刻机有多灾呢？国产自研EUV光刻机有怎么的意义？



荷兰工程师对EUV光刻机的见解

在业界，EUV光刻机有“工业皇冠上的明珠”之称，因而可知EUV光刻机是怎么一个集工业大成的伶俐结晶。不少人只晓得一台EUV光刻机的售价高达1.2亿美元，殊不知道造出EUV光刻机的价值不是用款项就可以权衡的。

由于EUV光刻机让人类的科技文明迈入了新的台阶，让芯片制造芯片可以从低端制程迈向高端制程。



没有冲破EUV光刻机以前，谁也没法想象一颗指甲盖巨细的芯片可以容纳上百亿根晶体管。芯片每秒的算力可以数以万亿计。

以苹果最新公布的A16仿生芯片@来%9妹妹99%讲@，具有160亿根晶体管，全新的16核神经收集引擎每秒的算力可达17万亿次。该芯片采纳台积电4nm制程，而且是基于ASML EUV光刻机出产制造。



如许的芯片能被出产制造出来，全凭EUV光刻机壮大的暴光能力。如许的光刻机装备堪称是供不该求。中国大陆芯片制造商中芯国际也曾采办过EUV光刻机，只是遭到了美国的阻碍，ASML没能正常发货。

买不到的环境下只能自研了，但对付自研EUV光刻机，有人不看好，夸大EUV光刻机出产制造繁杂，很难自力完成量产。但也有人基于客观的物理法则，认为没有甚么是不成能的。



就有一名荷兰工程师发声，表达了对中国研发EUV光刻机的见解。其称：“物理定律是不异的，荷兰能造出来，其它国度也能够。”

如许的概念ASML CEO温彼得也说过，他暗示：“中国不太可能自力造召盘级光刻机，但也不克不及太绝对，物理定律在中国也是同样的。”

造EUV光刻机有多灾？

从物理法则的角度来看，简直是事在报酬，他人能出产出来的技能和装备，理论上只要延续投入研发气力，也有破局的一天。那末造EUV光刻机有多灾呢？为什么会让很多光刻机厂商止步于此？



实在造EUV光刻机最难的处所是在焦点四大件，包含双工件台、物镜体系、光学体系、节制体系。解决了这四大件，其它的零部件技能都好说。

这四大件为甚么是最难的技能呢？以双工件台为例，EUV光刻机可以同时举行两块晶圆的暴光，而同时暴光必要连结很高的同步水准，偏差不克不及跨越2nm。



这就比如两辆高速行驶的汽车，一辆汽车上的人利用东西刀，在另外一辆汽车米粒巨细的东西台上刻子。若是车辆行驶的速率分歧步，行驶的角度，位置等等哪怕产生一丝误差，都不合适同步请求。

另有光学体系必要霸占光源，EUV光刻机的光源属于极紫外光，波长为13.5nm。因为极紫外光源不易被吸取，以是每次的反射城市丧失一部门的能量。以是为了低落能量消耗，对付光学体系采纳的镜面有很高的请求。

这类请求极其刻薄，至关于造德国同样面积巨细的镜子，平整度的凸点不克不及高于1毫米，不然就是失败的。



全世界能做到这类光学镜头的厂商百里挑一，德国蔡司镜头是其一。ASML出产EUV光刻机的镜头就是用上蔡司镜头，而且下一代NA EUV光刻机的高数值孔径体系也是由蔡司供给。

以上这些只是EUV光刻机构成部门的冰山一角，在触及到软件方面，也离不开顶级的EDA东西。以是造EUV光刻机的难度确切很是高，不然也不会只有ASML能出产。别看EUV光刻机是ASML出产的，但实在这家公司壮大的地方在于整合能力。若是离开全世界化财产链，一样是一筹莫展。



但是中国光刻机财产链与荷兰分歧，荷兰尚且必要从世界各地获得响应的技能支撑。而中国光刻机财产链中稀有家公司介入光刻机四大件的研发。

再加之上海微电子具有整机制造的前提，若技能储蓄足够，未必没有破局的可能性。那末国产自研EUV光刻机有怎么的意义呢？从久远的角度来看，如果把握自立化的EUV光刻机，很多高端芯片制造都不必要依靠别人。美国对高端芯片财产链设定的法则也会不攻自破。



总结

全世界光刻机厂商寥寥可数，能出产EUV光刻机的更是只有ASML一家。日本尼康、佳能在光刻机范畴资格深挚，也没能冲破EUV光刻机的界线。是以将来的路还很长，仍需任重而道远。

你认为自研EUV光刻机有怎么的意义呢？接待鄙人方留言分享。